[00150326]物理表面形貌纳米精度的实时干涉测量装置及其测量方法
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技术详细介绍
本发明的实时干涉测量装置主要是增加了相位探测电路和实时相位数据处理电路，对光源的实行正弦调制驱动。本发明能对物体表面形貌进行纳米精度的实时干涉测量，测量范围扩展到毫米量级。
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本发明的实时干涉测量装置主要是增加了相位探测电路和实时相位数据处理电路，对光源的实行正弦调制驱动。本发明能对物体表面形貌进行纳米精度的实时干涉测量，测量范围扩展到毫米量级。
