[00150555]一种具有电磁屏蔽功能的声表面波气体传感器阵列2
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技术详细介绍
一种具有电磁屏蔽功能的声表面波气体传感器阵列,属于电子技术领域,涉及气体传感器,具体涉及防止声表面波气体传感器阵列单元间电磁干扰的方法。包括至少两个声表面波器件和驱动电路,其特征在于,还包括一个气体配送系统,所述气体配送系统由微型气泵和至少两个金属小室构成,每个声表面波器件分别位于独立的金属小室内,各金属小室之间由通气孔贯通。本发明巧妙地将气体配送和电磁屏蔽两项功能合二为一,具有结构简单易于实现,电磁屏蔽效果好等特点。
