[00150839]特种异形板材

1、计划任务书（浙江省科技厅） 2、项目试制工作总结和技术总结（浙江诺华陶瓷有限公司） 3、经济效益分析（浙江诺华陶瓷有限公司） 4、投产条件报告（浙江诺华陶瓷有限公司） 5、企业标准（浙江诺华陶瓷有限公司） 6、检验报告（上海电器设备检测所有限公司） 7、查新报告（浙江省科技信息研究院） 8、用户使用报告（常熟通乐电子材料有限公司、上海仁朋实业有限公司） 9、环保承诺书（浙江诺华陶瓷有限公司） 10、知识产权证书（中华人民共和国国家知识产权局） 11、管理体系证书（浙江诺华陶瓷有限公司） 12、其他证书（浙江诺华陶瓷有限公司） 一、企业简介 浙江诺华陶瓷有限公司系独资企业,成立于2014年12月份,位 于浙江省东阳市巍山镇六怀工业功能区。公司拥有先进的生产设备,共有气相沉积炉、坩埚、碳管炉等自动化设备,是同行业中自动化程度最高的公司,主营先进陶瓷材料—热解氮化硼（PBN）,该产品包括应用于砷化镓（GaAs）单晶的MBE坩埚、LEC坩埚、VGF坩埚、MOCVD设备用绝缘隔热板、合成用舟皿及热解氮化硼涂层产品等本公司是集科研、开发、生产为一体的科技型企业。近年来,十分重视科技创新和科技合作工作,尤其是把引进人才、留住人才和发挥人才作为重要工作来抓,公司拥有员工20人,全部为在职员工,其中科研人员7人,占职工总数的35%,专业配置合理,各具特长。公司生产技术能力雄厚,能可靠的提供高品质的研发和生产技术服务。公司研发中心占地2300多余平方米,包含研发人员办公室100平方米,仪器设备测试室20平方米,公司基础设备齐全。公司已拥有知识产权21件,其中实用新型专利 21件。知识产权日益成为企业最重要的智力资产,成为促进企业科技创新、提升核心竞争力的重要源泉。 二、研发背景 PBN在超高真空下可被加热到2300℃而不发生分解,具有很高的纯度,达到99.99%以上,高温下不释放气体杂质等诸多优良特性,这些特性使得PBN可以被加工成不同形状的环和片,该产品主要作为高温、真空、MBE和MOCVD等领域的绝缘垫板等结构件使用,产品质量稳定性能好、瘤泡少、平整度高 三、研究的目的与意义 由于PBN具有易加工性的特点,因此可以加工成各种形状的板片部件,作为高温、真空、MBE和MOCVD等领域的绝缘垫板等结构件使用,其中MOCVD技术是以Ⅲ族、Ⅱ族元素的有机化合物和V、Ⅵ族元素的氢化物等作为晶体生长源材料,以热分解反应方式在衬底上进行气相外延,生长各种Ⅲ-V族、Ⅱ-Ⅵ族化合物半导体以及它们的多元固溶体的薄层单晶材料的一种技术。MOCVD设备是MOCVD技术的核心,其中MOCVD加热器是加热系统中最主要的部分。加热器中的绝缘板必须具有高温下不易变形、电阻高,高温下不会释放气体杂质等特点,PBN是绝缘板最为理想的材料,因此该项目产品的研发将具有很好的市场前景 四、项目创新 创新点一：通过改进生产工艺,引入西门子ANALOG OUTPUT MODULE模块与西门子ANALOG INPUT MODULE模块,自行开发控制程序,使通气过程实现实时跟踪实时反馈实时动态调节,改变了过去用手动调节转子流量计方式,精确调节化学气相沉积过程气氛比例,大幅减少各向异性应力产生,使其产品直径达到16英寸而不开裂。 创新点二：通过研究发现单自动化控制只能解决进入炉内的气氛比例,无法保证在沉积基体面上气体扩散后的比例。故开发一种双排多孔气流扩散装置,通过此装置,将原本单点位自动化,增加为多点位自动化控制。 创新点三：通过研究三氯化硼在超高真空环境下单排多孔环境的扩散性质,合理确定最终结构为8孔。又因每个孔的大小都会影响整排孔的气流分布,采用SOLIDWORKS Flow Simulation计算流体力学仿真软件,计算出每个孔的大小、间距与角度,来保证气流在扩散到沉积基体表面时的气氛比例。通过将气流与热分析以及对流、传导和辐射效应的仿真相耦合,发现整体沉积氛围热场分布形态对特种异型板材平整度至关重要,故设计多段测温,分段加热。通过在炉体上开设红外测温孔,使其精确测量化学气相沉积炉内各段温度,经过自行开发PLC控制程序,精确控制炉内沉积氛围热场分布,从而使板材平整度小于0.04mm。 五、社会经济效益 本项目研发的特种异形板材产品,平整度高,直径到达16英寸不开裂,市场前景广阔,项目从2020年3月开始研发,2021年2月开始试生产,并投入市场,按照目前市场行情,每件产品销售按6800元计,正常情况下2021年可完成产值480件,销售额326.4万元,利润137.08万元。 2022年可完成产值500件,销售额340万元,利润105.45万元。 该产品符合产业发展方向,满足市场需求,具有较强的市场竞争力,有利于进一步提高企业综合竞争力,其经济效益和社会效益都十分显著。