[00151036]大尺寸板条状光学元件的加工装置检测装置和加工方法
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技术详细介绍
一种大尺寸板条状光学元件的加工装置、检测装置和加工方法,该装置包括该加工装置包括拼盘式工装夹具、标准单轴抛光机和检测装置,该检测装置包括竖式干涉仪、电脑控制端以及可调承载车等部件,本发明实现了板条状光学元件拼盘式多件一次性加工,实现了上述拼盘的板条状光学元件整盘面形检测。该发明适用于大尺寸板条状光学元件的批量加工和检测,具有效率高,成本低的特点。
