[00016006]一种多晶硅除硼提纯方法
技术详细介绍
项目简介：
一种多晶硅除硼提纯方法，涉及一种多晶硅的除硼提纯工艺。提供一种高效，低成本，操作简单，适合大规模工业化生产的多晶硅除硼提纯方法。选用金属硅为原料；将原料金属硅放入石墨坩埚中，抽真空，启动中频感应电源加热，使石墨坩埚中的金属硅熔化；当硅全部熔化后，向体系中通入惰性气体，提高电源功率，使硅液温度保持在1500～1600℃，加入预熔过的第一种助渣剂反应，进一步提高电源功率，使硅液温度保持在1600～1700℃，再加入预熔后的第二种助渣剂；待造渣完成后，将硅液倒入浇注用坩埚中，静置，冷却后取出硅锭，得到提纯后的多晶硅锭。
