[00016353]微小圆孔尺寸及圆度同时测量的装置
技术详细介绍
本实用新型公开一种微小圆孔尺寸及圆度同时测量的装置，包括He-Ne激光器、被测圆孔及夹持器、带标志毛玻璃接收屏、信息采集装置、信息处理装置，本实用新型装置测试基于激光夫朗和费衍射测量原理，在衍射场放置有特别标志的毛玻璃做为衍射图样接收屏，由面阵CCD采集接收屏上包含特别标志的衍射图样，经计算机上专门研制的软件完成定标和衍射图样信息获取，从而自动实现微小圆孔尺寸及圆度的同时测量，装置测试量程（微小圆孔直径）为0。005mm~0。5mm。
