[00016820]用于太阳能薄膜电池前电极的AZO/Ag/AZO复合膜的制备方法
技术详细介绍
摘要：本发明公开了一种用于太阳能薄膜电池前电极的AZO/Ag/AZO复合膜的制备方法，用于太阳能电池电极制备技术领域。它利用物理射频磁控溅射法和直流磁控溅射法分别制备AZO层和Ag层，并通过控制快速热处理条件来形成不同大小和尺寸的具有椭圆形状的Ag纳米颗粒。本发明获得了一种具有非球形Ag纳米颗粒的薄膜层的太阳能电池前电极，其中Ag纳米颗粒等离子体在长波靠近红外方向的共振吸收方面有较大潜力，这对应用于硅基太阳能电池上是有利的。
