[00016928]导电氧化物薄膜的电刻蚀装置及方法
技术详细介绍
摘要：本发明公开一种导电氧化物薄膜的电刻蚀装置及方法。本电刻蚀装置包括电源、与电源电连接的第一电极和第二电极，第一电极与导电氧化物薄膜定位电连接，第二电极呈针状与导电氧化物薄膜移动电接触。本电刻蚀方法的操作步骤：将第一电极的两端分别与电源和导电氧化物薄膜电连接，将第二电极的一端与电源电连接，另一端呈针状并与导电氧化物薄膜移动电接触；调制电源的电压，将第二电极沿预电刻蚀图案方向移动，便电刻蚀形成表面图案。本发明在电刻蚀过程中破坏导电氧化物薄膜的导电氧化物晶体结构或化学计量比，很大程度地简化了刻蚀工艺，同时降低了制备成本和缩短了刻蚀时间。
