[00016933]R134a制冷剂气体传感器气敏元件的制备方法
技术详细介绍
摘要：本发明涉及一种R134a制冷剂气体传感器气敏元件的制备方法，属金属氧化物半导体气敏元件制备工艺技术领域。本发明的传感器气敏元件主要特点是：在Al2O3陶瓷管表面涂覆有两层敏感物质材料，内层为纳米SnO2基体材料，外层为Pt掺杂的纳米多孔Al2O3增敏材料；首先将涂上的SnO2基体材料经500℃煅烧2小时后，按厚膜半导体气敏元件制作工艺对气敏元件进行焊接；即包括引线铂丝的焊接及陶瓷管空腔内镍-镉加热丝的焊接；然后再将掺杂Pt的纳米多孔Al2O3增敏材料均匀涂覆在纳米SnO2基体材料上面；然后在室温下晾干，进行老化，封装，最终制得R134a制冷制气体传感器气敏元件。本发明制得的气敏元件对R134a的检测具有较高灵敏度、响应恢复时间快，稳定性好。
