[00016979]钛/氮化钛纳米复合硬质薄膜的制备方法
技术详细介绍
发明专利名称：钛/氮化钛纳米复合硬质薄膜的制备方法 发明专利简介：钛/氮化钛纳米复合硬质薄膜的制备方法，将经过清洗干燥的工件放入原子层沉积设备的成膜室中，在100～200℃的条件下，沉积一层厚度为80～200nm的钛薄膜，并降至室温；取出工件放入浓度为0.05mol/L氢氟酸和0.01mol/L的硝酸混合溶液中，超声浸泡0.5～2分钟，清洗工件表面并干燥，利用原子层沉积的方法，在温度为150～280℃的条件下，在工件表面沉积一层厚度为50～150nm厚的氮化钛薄膜。利用原子层沉积设备沉积而成并在界面处通过腐蚀液进行刻蚀的纳米复合结构钛/氮化钛硬质薄膜，薄膜的膜基结合力大于70N，硬度高于50GPa。
