[00017089]磁控溅射制备减磨MoS2/C/Ti复合薄膜的方法
技术详细介绍
发明专利名称：
磁控溅射制备减磨MoS2/C/Ti复合薄膜的方法
发明专利简介：
一种固体润滑技术领域的磁控溅射制备减磨MoS2/C/Ti复合薄膜的方法，包括：第一步、将基片抛光后超声清洗并烘干，装入溅射室内；第二步、在溅射室中进行纯钛溅射和复合层溅射，然后待溅射室自然冷却至室温，制备得到磁控溅射制备减磨复合薄膜。本发明制备工艺简单，沉积过程易于控制，薄膜沉积后无需进行热处理，可直接作为机械零部件表面的减摩防护薄膜使用，制备所得的复合薄膜纳米硬度达到5.9GPa，摩擦系数可达到0.03。
