[00018234]一种微管零件的夹持装置及方法
技术详细介绍
摘要：本发明公开了一种微管零件夹持装置及方法。该装置包括：硅零件(10)、玻璃微管(11)、气路连接件(2)、真空发生装置(3)、测量显微镜(4)、360度转台(7)和三维操作手(8)。本发明通过真空吸附方式对零件进行夹持，并通过夹持器上的微槽对被夹持零件进行限位。利用硅微加工技术加工出微米结构的硅零件，利用微点胶和微装配技术将硅零件与玻璃微管进行装配胶接得到真空夹持头，将真空夹持头与真空发生装置连接后得到真空夹持器。在测量显微镜、360度转台和三维微操作手的配合下，按照设计的夹持方法对微管零件进行夹持。实验证明，本发明能够实现微管零件的快速稳定夹持和高精度定位。另外，本发明结构简单，成本低，操作方便，可应用于微管零件的夹持和装配等领域。
