[00019470]一种MEMS压阻式加速度、压力集成传感器及制造方法
技术详细介绍
本发明公开了一种基于阳极键合封装的MEMS压阻式加速度、压力集成传感器及其制造方法，所述的传感器同时集成了压阻式加速度传感器和压阻式压力传感器，并且具有第一键合玻璃‑硅基‑第二键合玻璃三明治结构；本发明MEMS压阻式加速度、压力集成传感器结构新颖、重量轻、体积小、稳定性好、抗污染能力强；此外，本发明中，同一片芯片上使用相同的工艺，不同的设计来实现压力测量和加速度测量这两种能力，工艺流程简单；本发明传感器在航空航天、军事、汽车、环境监测等领域具有一定的应用前景。
