[00019765]增强薄膜太阳电池光子吸收效率的方法以及薄膜太阳电池结构
技术详细介绍
本发明涉及一种提高薄膜太阳电池光子吸收效率的方法，具体步骤如下1取一薄膜太阳电池所用的外延片，对外延片进行清洗；2在电池的背表面热蒸发导电极；3在导电极层上面外延沉积一层二氧化硅层；4在二氧化硅外延层上悬涂光刻胶；5对光刻胶进行前烘，形成样品；6在光刻胶上制作二维光子晶体掩膜图形；7对形成掩膜图形的样品进行后烘；8对烘好的样品进行干法刻蚀，将光刻胶上光子晶体图形转移至二氧化硅上；9去除掩膜胶；10在制作好光子晶体图形的衬底上沉积硅材料，填充光子晶体孔洞；11采用PECVD沉积工艺交替沉积若干层Si/SiO
