[00019987]一种超精密气体静压主轴气膜速度场测试装置
技术详细介绍
一种超精密气体静压主轴气膜速度场测试装置，包括上止推盘、主轴、下止推盘、轴套、气室外套、线状传感器以及主轴保持架，上止推盘、下止推盘分别与主轴的上下两端面同轴密封固接，三者共同形成用于容纳轴套的凹腔；轴套套在所述主轴外部，轴套与凹腔之间的间隙作为气模的容纳腔；轴套的外壁设有用于容纳气室外套的凹槽，轴套外部套装气室外套，凹槽的上下槽壁分别与所述气室外套上下两端面密封固接；轴套设有轴向节流孔、轴向细孔、多组径向节流孔和多组径向细孔，线状传感器的头部伸入气模内；主轴保持架设有卡槽。本发明的有益效果在于实现超精密气体静压主轴气膜速度场的高效测试；根据需求布置测点，使用便捷；测试过程干扰小，可靠性高。
