[00002643]一种溶胶凝胶二氧化硅薄膜的制备方法
技术详细介绍
本发明公开一种溶胶凝胶二氧化硅薄膜的制备方法，包括以下步骤：a、按质量比2.12：0.75：0.43：1称取乙醇、去离子水、甲酰胺和正硅酸四乙酯，将上述组分混合均匀；b、将步骤a中得到的溶液的pH调为1~2；c、将步骤b中得到的溶液在50℃温度下搅拌1.5小时；d、准备衬底，所述衬底上设置有二氧化硅层，将步骤c得到的溶液涂覆在所述衬底上得到薄膜；e、将带有薄膜的衬底进行干燥；f、将步骤e得到的衬底放于高温炉中，升温至1000℃退火3小时，得到溶胶凝胶二氧化硅薄膜。本发明的溶胶凝胶二氧化硅薄膜的制备方法简单，对设备要求低，通过本方法制备的二氧化硅薄膜不开裂、结构致密、成品率显著提高。
