[00002776]一种高灵敏度电容型柔性压力传感器
技术详细介绍
本发明公开了一种高灵敏度的电容型柔性压力传感器
传感器具有多层次微结构材料，附着于多层次微结构材料表面上为电容器上电极、电介质材料和电介质材料下表面的电容器下电极；多层次微结构材料和电介质材料平面平行叠合；所述多层次微结构材料，多层次微结构材料为如下结构纵截面的形状为面分布且排列的若干金字塔形或边缘平滑的类金字塔形、半球形、椭球形、圆锥形、V字形形状；传感器多层次微结构材料采用聚合物弹性材料。
传感器具有多层次微结构材料，附着于多层次微结构材料表面上为电容器上电极、电介质材料和电介质材料下表面的电容器下电极；多层次微结构材料和电介质材料平面平行叠合；所述多层次微结构材料，多层次微结构材料为如下结构纵截面的形状为面分布且排列的若干金字塔形或边缘平滑的类金字塔形、半球形、椭球形、圆锥形、V字形形状；传感器多层次微结构材料采用聚合物弹性材料。
