[00002842]一种新型多频点、高灵敏太赫兹传感器的制造方法
技术详细介绍
本发明公开了一种新型多频点、高灵敏太赫兹传感器的制造方法，包括如下步骤清洗基片；在所述基片上涂覆聚酰亚胺膜；在所述聚酰亚胺膜上涂覆光刻胶LOR并烘干；在所述光刻胶LOR上涂覆光刻胶AZ1500并烘干；对光刻胶进行曝光、显影和烘干；在所述光刻胶AZ1500和露出的聚酰亚胺膜上蒸发一层金属；将蒸发一层金属的基片浸泡在丙酮溶液中剥离去除剩下的光刻胶AZ1500与所述光刻胶AZ1500上的一层金属，然后用显影液去除剩余的光刻胶LOR；去除基片将基片和聚酰亚胺膜剥离。本发明还公开了一种将上述太赫兹传感器用于肿瘤细胞检测的方法。本发明实现太赫兹波段多频点、高灵敏度传感的检测。
