[00002889]一种在环境透射电子显微镜中安装的气体电子衍射装置
技术详细介绍
本发明涉及一种在透射电子显微镜中安装的气体电子衍射装置，用于在电子显微镜中原位探测气氛的成分及其分子结构性质。该装置包括以下部分：(1)放置于透射电境外的气体罐(压力可调节)及控制气体注入的快速响应针阀(电脑程序控制)；(2)集成于电镜样品杆的气氛微束喷射管路；(3)集成于电镜样品杆端头的纳米压痕仪系统(可以10皮米量级精度三维移动压头)，只不过本装置中压痕仪不再配置金刚石压头，而代之以气氛微束喷头，从而可以完成喷射微气体束的移动。采用本发明的装置能够原位精确移动这个气体束使其与电子束(直径为纳米尺寸)交汇，从而使在透射电镜中可以进行气体电子衍射测试。
