[00002916]一种声板波自聚焦光干涉扫描探测系统
技术详细介绍
本发明提供了一种声板波自聚焦光干涉扫描探测系统。系统中，信号发生器产生的激励信号经功率放大器放大后，通过压电换能器作用在样品上产生声板波；外差探测激光干涉仪发出测量臂的激光照射在样品表面经反射返回，与参考臂的激光相干叠加产生干涉信号，位于位移平台上的探头探测到的干涉信号在示波器上显示出相应的波形；示波器和位移平台分别与计算机联机，计算机用来控制位移平台的扫描路径和提取干涉信号波形的振幅与相位信息，并对数据进行后处理获得样品声板波的场分布信息。本发明利用外差激光干涉仪探测样品表面单点振动的功能与位移平台相结合，可以按照需要实现对样品表面某一区域以某一精度进行扫描获得该区域的场分布信息。
