[00002975]一种超高真空样品输运系统
技术详细介绍
本发明公开了超高真空样品输运系统，包括超高真空样品输运小车和串联的超高真空样品室，串联的超高真空样品室之间设有闸板阀片，超高真空样品室铺设轨道；且所述的超高真空样品输运小车主要由2个超高真空样品存储台，超高真空样品存储台顶端均设有固定在样品存储台的永磁铁，设有隔磁金属板隔离在2个超高真空样品存储台之间，超高真空样品输运小车下部设有4‑6个独特的小车导向轮，且小车导向轮在所述轨道上运行，串联的超高真空样品室外表面设有驱动磁铁。实现在超高真空传送系统内同时完成16块样品的输运。
