[00002995]基于传输反射法的薄膜材料复介电常数的测量装置及方法
技术详细介绍
本发明涉及一种基于传输反射法的薄膜材料复介电常数的测量装置及方法。装置包括网络分析仪、微带线和介质基片，微带线的两端设有高频SMA接头，网络分析仪的端口分别与微带线的高频SMA接头连接；微带线的填充介质为空气，介质基片竖直放置在微带线的中部；介质基片的表面镀覆有薄膜材料。测量时先将未镀覆薄膜与镀覆有薄膜的介质基片分别竖直放置在微带线中部，获得两组S11和S21参数，进而根据获得的两组数据再结合传输反射法，推算出未镀覆薄膜和镀覆有薄膜的介质基片的有效介电常数，再通过确定填充因子，将薄膜材料的真实介电常数从有效介电常数中分离出来。本发明测试频带宽、结构简单、重复性强、在GHz频段范围内测试精度高。
