[00020270]一种应用于超精密车削加工的三自由度装置
技术详细介绍
摘要：本实用新型公开了一种应用于超精密车削加工的三自由度装置，包括外壳、切削组件、Z向驱动组件、X向驱动组件、Y向驱动组件、机架；所述Z向驱动组件与Y向驱动组件构成并联结构，该并联结构再与X向驱动组件构成串联结构；X、Y、Z三个方向驱动方式上采用压电驱动器，导向方式采用柔性铰链，实现了X、Y、Z三个方向上直线式高频往返伺服运动。本实用新型结构简单、成本低、见效快，提高了定位精度和驱动精度。
