[00020522]一种V-Si-N纳米复合硬质涂层及其制备方法
技术详细介绍
摘要：本发明公开了一种V-Si-N纳米复合硬质涂层的制备方法，包括以下步骤：基体清洗；沉积涂层：将Si靶安装在中频阴极上，V靶安装在直流阴极上，Si靶和V靶通过挡板与基体隔离，先通入Ar气，进行预溅射，再通入N2气，通过调节Si靶的功率和V靶的功率，在350～600℃和0.3～1.0Pa条件下，沉积V-Si-N纳米复合硬质涂层，其可操作性强、可控性好、易于实施。本发明还公开了一种V-Si-N纳米复合硬质涂层，成分表示为(V1-xSix)N，其中，1-x为0.7～0.98，x为0.02～0.3，兼具有高硬度和低摩擦系数的性能，沉积有该涂层的刀具加工效率高、加工质量好，具有很大的应用价值。
