[00020563]一种氮化钒刀具涂层及其制备方法
技术详细介绍
摘要：本发明公开了一种纤维结构的氮化钒刀具涂层，该氮化钒刀具涂层中的氮化钒晶粒呈纤维状紧密排列，平均粒径为5-100nm，晶粒长度大于200nm，长度和粒径比大于2，在保证较低摩擦系数的同时，能够保证具有较高的硬度，特别适合作为刀具润滑涂层。本发明还公开了一种纤维状结构的VN刀具涂层的制备方法，包括以下步骤：基体清洗；沉积涂层：在真空室中，V靶安装在中频阴极上，通入N2气，通过调节V靶的功率和N2的流量，在400℃～600℃和0.3Pa～1.0Pa条件下，对基体溅射沉积得到纤维结构的VN刀具涂层，其可操作性强、可控性好、易于工业化生产，具有较好的经济效益。
