[00021004]晶体硅太阳电池用新型减反射钝化薄膜的制备技术
技术详细介绍
技术投资分析：
利用太阳电池发电是解决能源和环境问题的重要途径之一，其大规模利用的关键是制备低成本、高效率的太阳电池，而制备高质量的减反射钝化薄膜是制备低成本、高效率的单晶硅或多晶硅太阳电池的关键技术之一。
本项目组所开发的新型减反射钝化薄膜制备技术与目前产业界所用的氮化硅薄膜或氧化钛薄膜相比，具有以下特点：
在波长范围（200nm~1000nm）内减反射效果更佳，尤其在（200nm~400nm）的范围可以将减反射率降低到10％以下，这是目前常用减反射薄膜所不能达到的；钝化效果与氮化硅的体钝化和表面钝化效果相当。
技术的应用领域前景分析：
本技术适用于新能源行业，前景十分广阔。
效益分析：
制备工艺与现在大规模电池制备工艺兼容且不增加成本；可以使晶体硅太阳电池的转换效率提高0.5％（绝对值）以上。
厂房条件建议：
无
备注：
无
