[00021678]激光干涉波长杠杆式绝对距离测量方法与装置
技术详细介绍
摘要：本发明公开了一种激光干涉波长杠杆式绝对距离测量方法与装置。包括光源系统、波长杠杆式激光干涉系统和干涉信号处理及控制系统；光源系统输出波长分别为λ1和λ2的正交线偏振光束，射向波长杠杆式激光干涉系统，形成干涉光束射向干涉信号处理及控制系统；在波长杠杆式激光干涉系统中，合成波长与单波长和被测绝对距离与参考臂的角锥棱镜的运动位移形成波长杠杆式绝对距离测量关系；干涉信号处理及控制系统负责检测两单波长干涉信号的相位差、计算被测绝对距离和控制光源系统中波长λ2的改变。本发明能实现任意绝对距离的测量，能实现合成波长到单波长的过渡，适用于大型精密装备制造、空间工程和计量技术等领域的大长度或大尺寸、高精度的绝对距离测量。
