[00022383]基于表面等离子体共振的高灵敏度宽测量范围的折射率传感器
技术详细介绍
摘要：基于表面等离子体共振的高灵敏度宽测量范围的折射率传感器，特征包括：激光光源，光隔离器，偏振控制器，微流通道，侧边抛磨单模光纤，载玻片上镀有金膜的芯片，光谱仪，微流泵；所述SPR传感区由载玻片上镀有金膜的芯片、微流通道和侧边抛磨单模光纤组成；微流通道是利用光刻蚀技术在侧边抛磨单模光纤的残余包层形成；载玻片上镀有金膜的芯片是利用离子溅射技术在硅基表面溅射金膜；由于微流通道中强的倏逝场和SPR效应，当微流通道折射率微小变化时，SPR谐振波长产生大的漂移；载玻片上镀有金膜的芯片和微流通道界面具有大的有效折射率差，提高测量范围。本发明提出一种实用、低成本的基于表面等离子体共振的高灵敏度宽测量范围的折射率传感器。
