[00024556]确定影响膜系工艺漂移及均匀性的主要膜层的分析方法
技术详细介绍
摘要：本发明是关于一种确定影响膜系工艺漂移及均匀性的主要膜层的分析方法，根据实际生产的膜系结构建立光学模型，得到每层薄膜厚度变化对产品性能的影响，形成对应于各膜层并体现产品性能变化趋势的矩阵；同时将产品性能的实际检测结果的变化状态用矩阵表示，并将两矩阵相乘，由计算结果确定影响产品工艺波动及均匀性的主要影响膜层，本发明采用矩阵方式分析各膜层对产品性能的影响，计算方法清晰简单便于识别，可以使分析过程计算程序化、达到自动监控分析。利用本发明可以快速确定影响产品工艺波动及均匀性的主要膜层，便于制定工艺调整制度，有利于连续生产中对工艺进行修正，保障生产的稳定、连续性。
