[00278783]β‑Ga2O3微米带的制备方法
技术详细介绍
摘要：本发明公开一种无需贵金属催化剂、重复性好、操作简单的β‑Ga2O3微米带的制备方法，将纯度为99.99%的金属镓单质作为反应源材料，图形化蓝宝石为衬底，将反应源材料和图形化蓝宝石衬底放在石英舟内，然后再将石英舟放入化学气相沉积设备石英管内的高温加热区；通入氩气为载气，氩气流量为150ml/min；当加热温度达到850℃或900℃时通入氧气，氧气流量为2ml/min，生长时间为10~30分钟；关闭氧气，保持氩气流量，降温至100℃以下，取出制品。
