[00279033]一种基于电容法测量气膜间隙内气体密度的测试装置
技术详细介绍
本实用新型涉及一种基于电容法测量气膜间隙内气体密度的测试装置，属于精密设备性能检测领域。本实用新型包括隔振平台、大理石支撑台面、空气静压轴承Ⅰ、空气静压轴承Ⅱ、压力传感器、传感器支架、微位移传感器、支架、气缸、节流阀、空气静压轴承进气管、压力调节阀、压力表和空气压缩机。本实用新型装置简单，只需要额外添加微位移传感器、电容测量仪以及微力传感器；模型简化，容易理解，数据处理量小，简单方便；便于实现不同的气膜厚度的调节，通过气膜厚度变化对电容的影响，从而利用所测得的电容变化计算出气膜间隙内气体密度，可通过多次测试将气膜间隙内气体密度测量出来，可靠性高且易于实现；仪器应用普遍，成本低。
