[00279665]一种利用氯硅烷残液制取气相氯化氢的装置
技术详细介绍
本实用新型公开了一种利用氯硅烷残液制取气相氯化氢的装置，属于多晶硅残液处理领域；本实用新型所述装置包括搅拌反应釜、渣浆泵、压滤机、酸泵、硫酸滤液回收槽、冷凝器、高压分离器，搅拌反应釜的上端与氯硅烷残液储存装置连通，下端通过渣浆泵与压滤机连通，压滤机与硫酸滤液回收槽连通，硫酸滤液回收槽的下端通过酸泵与搅拌反应釜连通；硫酸滤液回收槽、搅拌反应釜的上端均与冷凝器连通，冷凝器的下端与搅拌反应釜连通，冷凝器与高压分离器连通，搅拌反应釜中装有硫酸溶液。本实用新型所述装置简单合理，能够解决氯硅烷残液的资源化利用问题，高效回收氯化氢。
