[00028543]声表面波传感器复合敏感膜的制备装置
技术详细介绍
本实用新型提供一种声表面波传感器复合敏感膜的制备装置，包括出口对准声表面波器件的表面的至少两个气喷雾沉积装置，不同的气喷雾沉积装置中填装不同材料的溶液，所有气喷雾沉积装置在一个声表面波器件的表面上同时沉积多种材料，获得复合敏感膜。本实用新型的优点在于：使用本实用新型的装置可制备出传统溶液法所不能制备出的复合敏感膜。
本实用新型提供一种声表面波传感器复合敏感膜的制备装置，包括出口对准声表面波器件的表面的至少两个气喷雾沉积装置，不同的气喷雾沉积装置中填装不同材料的溶液，所有气喷雾沉积装置在一个声表面波器件的表面上同时沉积多种材料，获得复合敏感膜。本实用新型的优点在于：使用本实用新型的装置可制备出传统溶液法所不能制备出的复合敏感膜。
