[00280078]一种氯硅烷残液生产氯化氢气体的装置
技术详细介绍
本实用新型公开了一种氯硅烷残液生产氯化氢气体的装置，属于多晶硅生产废物资源化领域；本实用新型所述装置包括反应釜、吸收塔、水冷器、汽水分离器I、深冷器、汽水分离器II、渣浆泵I、过滤机I、盐酸收集罐、洗涤罐、渣浆泵II、过滤机II、循环泵；反应釜与吸收塔连通，吸收塔与水冷器连通，水冷器与汽水分离器I连通，汽水分离器I与深冷器连通，深冷器与汽水分离器II连通，汽水分离器I和汽水分离器II与盐酸收集罐连通；反应釜通过渣浆泵I与过滤机I连通，过滤机I与盐酸收集罐连通；洗涤罐通过渣浆泵II与过滤机II连通，过滤机II与盐酸收集罐连通；盐酸收集罐通过循环泵与吸收塔连通。本实用新型所述装置省去了专门的盐酸解析设备，减少能源消耗，降低生产装置建设成本和运行成本。
