[00003053]基于铝光栅耦合氮化硅薄膜波导的颜色滤波器及制备方法
技术详细介绍
本发明公开了一种基于铝光栅耦合氮化硅薄膜波导的颜色滤波器及制备方法。该颜色滤波器包括空气衬底、氮化硅薄膜、二氟化镁薄膜和铝光栅，其中，二氟化镁薄膜覆盖在氮化硅薄膜上，铝光栅设置在二氟化镁薄膜表面；氮化硅薄膜的厚度为100nm。制备方法为采用厚度为100nm的氮化硅薄膜窗口作为基本框架，在氮化硅薄膜上依次蒸镀二氟化镁薄膜和铝膜，然后利用聚焦离子束加工系统制备铝光栅结构。本发明的制备方法工艺简单、成本低廉、调控方便，制得的颜色滤波器具有厚度超薄、性能稳定、高透射率等特点。
