微结构准相位匹配实现多维目标波导光栅和体光栅的制备方法,以普通波导光栅作为种子光栅,在此基础上形成二维或者三维的折射率调制的取样结构即取样光栅;该取样结构取样光栅含有多个影子光栅,选择其中一个影子光栅作为目标等效光栅;在经过取样后的光栅包含很多级次的傅立叶分量即影子光栅,对应的光栅波矢为
,所有的这些影子光栅的光栅形貌由改变取样结构
而改变;当种子光栅波矢
和所需要的二维或者三维光栅波矢之间不匹配情况下,则采用取样结构傅立叶分量中某一傅立叶周期性结构分量来补偿他们之间波矢的不匹配,本发明可应用在具有任意光栅形貌的多维目标波导光栅和体光栅的设计与制造,可简化光栅制作工艺,同时实现当前各种基于光栅的光子器件。