[00003062]一种环形反射式波导光栅滤波器及制作方法
技术详细介绍
本发明公开了一种环形反射式波导光栅滤波器及其制作方法，解决现有光子集成技术无法单片集成环形器的问题。所述反射式波导光栅滤波器包含输入波导，输出波导，波导光栅，输入波导一端包含输入光口，另一端与波导光栅相连，输出波导一端与输入波导通过耦合段形成非对称定向耦合器，输出波导另一端包含输出光口，波导光栅用于对所述输入光实现模式变换，产生反射光，非对称定向耦合器用于实现反射光模式的进一步变换，产生输出光。所述反射式波导光栅滤波器制作方法，包括采用电子束曝光方法制作绝缘体上硅波导材料体系滤波器；本发明还包括一种取样光栅制作方法。本发明实现了环形器功能，从而实现了波导光栅在光子集成芯片中的有效使用。
