[00003852]一种制备新型微纳米复合结构图案化蓝宝石衬底的方法
技术详细介绍
本发明公开了一种制备新型微纳米复合结构图案化蓝宝石衬底的方法，具体步骤包括：a)通过光刻和刻蚀工艺制备出具有高曲率和高深宽比的圆锥形微米图案化蓝宝石衬底；b)在微米图案化蓝宝石衬底上蒸发镀膜沉积金属镍层；c)将镀有金属镍层的蓝宝石衬底进行退火，得到具有镍纳米颗粒的微米图案化蓝宝石衬底；d)以镍纳米颗粒为掩模，将蓝宝石衬底进行ICP刻蚀，从而在圆锥形蓝宝石衬底上得到多个纳米蓝宝石柱阵列；e)除去残余的镍纳米颗粒，最终得到具有微米、纳米复合结构的图案化蓝宝石衬底。本发明制备微纳米复合结构的方法方便快捷、成本低廉，可以快速的在高深宽比、高曲率的微米图案上制备大面积的纳米图案。
