[00003886]一种硅基光子材料器件制备方法
技术详细介绍
本发明提供了一种硅基光子材料器件制备方法，具体包括以下步骤a)通过特殊方式加工制作出具有高密度和小尺寸的有序硅纳米晶粒；b)通过光刻工艺的方式对晶粒进行加工；c)采用UHV/CVD在硅衬底上生长Ge量子点；d)对加工过后的晶粒掺杂化学混合元素；e)利用步骤d)制备得到的晶粒形成光开关阵列构成光波导开关；f)化学研磨与物理成型；g)对加工出的硅基光子电路板进行晶粒探针测试。本发明的制备方法可获得热导性好、电学性能好的硅基光子材料器件，且制备方法简单、成本低廉、工艺可靠。
