[00003894]一种纳米材料透射电镜原位光电测试芯片、芯片制备方法及其应用
技术详细介绍
本发明公开了一种纳米材料透射电镜原位光电测试芯片、芯片制备方法及其应用，属于纳米材料性能原位测试技术领域。本发明的芯片包括硅基片、绝缘层、金属电极、薄膜窗口和发光二极管，在硅基片两面都长有绝缘层；在芯片正面绝缘层上长有金属电极，可以与样品进行电学连接；在芯片中央有薄膜窗口，在薄膜窗口区域开有透电子束槽或透电子束孔，在薄膜窗口前的一对金属电极上焊接有发光二极管。本发明可以同时对样品进行可控光照并施加电学作用或接收样品的电信号，从而实现在原子尺度分辨率下对透射电镜样品进行光电原位测量。
