[00003896]一种新型贴片式忆容器及其制备方法
技术详细介绍
本发明公开了一种新型贴片式忆容器，包括自下至上依次设置的硅衬底、第一金属薄膜、第一氧化物薄膜、第二氧化物薄膜和第二金属薄膜，其中，所述第一金属包括Au、Cu、Pt、Ag、Co中的一种，所述第一氧化物包括TiO2、HfO2、TaO2、SrTi1-xNbxO3中的一种，03型钙钛矿氧化物，其中，A为Dy、Gd、Tm、Lu、Tb中的一种或多种金属离子，B为Fe或Mn，第二金属为Au或Pt；在所述第一金属薄膜和第二金属薄膜上引出电极。本发明还公开了一种制备上述新型贴片式忆容器的方法。本发明结构简单、制备方便、体积小，适合三维堆垛结构中，具有高集成度的特点。
