[00003905]基于六氮五铌薄膜的室温红外检测器及其制备方法

交易价格： 面议

所属行业： 其他电气自动化

类型： 发明专利

技术成熟度： 正在研发

专利所属地：中国

专利号：CN201410496643.X

交易方式： 完全转让许可转让技术入股

联系人：许尔杰

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所在地：江苏南京市

服务承诺: 产权明晰; 资料保密
对所交付的所有资料进行保密; 如实描述

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技术详细介绍

本发明公开了一种基于六氮五铌薄膜的室温红外检测器，包括硅衬底，所述硅衬底上的二氧化硅层，所述二氧化硅层上的六氮五铌薄膜热敏层，以及所述六氮五铌薄膜热敏层两端与外部电路相连的金属薄膜电极。本发明还公开了制备上述室温红外检测器的方法。本发明的室温红外检测器工作于室温，具有较高灵敏度，响应速度快，且容易做成大规模阵列芯片。

[00003905]基于六氮五铌薄膜的室温红外检测器及其制备方法

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