[00003908]一种红外量子阱光电探测器的吸收结构
技术详细介绍
本发明公开了一种红外量子阱光电探测器的吸收结构，属于亚波长光子学中光学器件领域。该吸收结构用于耦合入射电磁波到量子阱活性区域，包括上金属层、中间半导体层和下金属层，其中，上金属层为周期性的金属方块阵列，中间半导体层为量子阱层，下金属层为表面带有周期性金属方块阵列的金属平板。利用本发明这种金属微结构激发的微腔模式和杂化SSPs模式的耦合，能显著地提高量子阱活性区域对红外辐射的吸收，并且有效地增强对量子阱吸收至关重要垂直于量子阱平面的电场分量(Ez)的大小，从而克服了传统量子阱红外光电探测器对正入射的红外辐射不吸收的缺陷，该吸收结构对甚远红外光电探测器探测效率的提高具有很显著的作用。
