[00003942]一种硅基金属微腔电致发光器件及制备方法
技术详细介绍
种硅基金属微腔电致发光器件，自上至下为半透明金属反射镜，有源层，ITO电极，2-8个周期底部DBR、每周期厚度为共振光波长的二分之一，金属薄膜，石英基底；以SiC材料作为有源层，厚度为共振波长的1/2，半透明金属反射镜作为微腔的一面反射镜和出光面。制备方法的步骤：利用等离子体增强化学气相沉积技术，在用硅烷和甲烷作为反应起源，在石英衬底上交替生长具有两种不同组分的SiC薄膜，构成全SiC材料的DBR结构；这两种组分的SiC薄膜淀积时的流量比R=CH4/SiH4分别是1和10；在DBR结构上制备有源层，仍采用流量比R=10的SiC薄膜。本发明采用较少周期的DBR达到同样反射效果，增强方法的可操作性，重复性。
