[00003946]极化敏感的高效超导纳米线单光子探测器及其设计方法
技术详细介绍
本发明公开了一种极化敏感的高效超导纳米线单光子探测器，包括硅基底、金膜反射层、二氧化硅介质腔、NbN纳米线和耦合反对称分裂环谐振器，其中由下至上依次为所述硅基底、金膜反射层、二氧化硅介质腔以及耦合反对称分裂环谐振器，所述NbN纳米线位于二氧化硅介质腔内部，所述NbN纳米线包括多个周期排列的单元结构，所述耦合反对称分裂环谐振器呈周期排列。本发明还公开了一种上述探测器的设计方法。本发明结构简单、新颖，使用的超导材料NbN纳米线宽度大，占空比高，对近红外波的单光子探测效率高，计数速度快。
