[00003956]一种铁基单晶超导微桥的制备方法
交易价格:
面议
所属行业:
其他电气自动化
类型:
发明专利
技术成熟度:
正在研发
专利所属地:中国
专利号:CN201610152652.6
交易方式:
完全转让
许可转让
技术入股
联系人:
许尔杰
进入空间
所在地:
江苏南京市
- 服务承诺
- 产权明晰
-
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
- 如实描述
技术详细介绍
本发明公开了一种铁基单晶超导体微桥的制备方法,在平整的铁基超导单晶表面直接光刻图形,通过氩离子束刻蚀控制样品厚度,运用翻面技术,经过解理、热蒸发金电极、光刻微桥图形和离子束刻蚀,就可以得到理想厚度的铁基超导单晶微桥样品。该制备方法简单、可操作、样品厚度可控,可缩短样品制备周期并提高样品制备成功率。通过该制备工艺制备出的样品具有厚度可控、高质量、尺寸精度高等优点。