[00300128]G8.6代离子注入机
技术详细介绍
G8.6代离子注入机是专供第8.6代AMOLED生产线使用的核心设备 ，主要用于LTPS（低温多晶硅）、LTPO（低温多晶氧化物）等工艺中的掺杂环节，通过将硼或磷等杂质离子精确注入半导体薄膜，精确调整薄膜的电性能，是制造高端大尺寸OLED显示屏的关键工艺设备。 当前，我国OLED显示产业正处于高速发展的关键阶段，离子注入掺杂设备作为OLED面板实现性能调控的关键设备，目前由日本独家垄断，国内面板厂商无替代选择，核心装备进口问题严重制约产业安全与国际竞争力提升。 2023年，公司与芯嵛半导体达成战略合作，联合攻克多项关键技术，成功开发一台8.5代OLED离子注入机并在韩国测试验证，反馈状况良好。目前，公司正在开发G8.6代离子注入机，开展宽幅大束离子源束形控制、大尺寸基板传输等技术研究，实现低剂量注入均匀性≤2.8%@5×1011ions/cm²、基板传输精度≥2um、产线流片≥5000片等先进指标，预计2027年完成首台国产整机产线验证，打破“卡脖子”技术垄断，为我国OLED产业、安徽省新型显示产业稳定发展筑牢关键根基。
【成果编码】20264200
【单位性质】企业
【企业类别】国企
【统一社会信用代码】91340111MA2W8UUG7K
【是否是首展首发】国内首发
【是否有意愿在安徽落地转化】是
【意愿落地城市】合肥市
【期望参展板块】专题互动展区/“双招双引”
【技术水平】国际先进
【是否有自主知识产权】是
【项目阶段】工程样机/样品
【展品联系人】王哲
【展品联系人手机号】19339102085
【展示方式】展板
【实物确认】否
【状态】退回
【成果编码】20264200
【单位性质】企业
【企业类别】国企
【统一社会信用代码】91340111MA2W8UUG7K
【是否是首展首发】国内首发
【是否有意愿在安徽落地转化】是
【意愿落地城市】合肥市
【期望参展板块】专题互动展区/“双招双引”
【技术水平】国际先进
【是否有自主知识产权】是
【项目阶段】工程样机/样品
【展品联系人】王哲
【展品联系人手机号】19339102085
【展示方式】展板
【实物确认】否
【状态】退回
