[00300129]G8.6代离子注入机

G8.6代离子注入机是专供第8.6代AMOLED生产线使用的核心设备 ，主要用于LTPS（低温多晶硅）、LTPO（低温多晶氧化物）等工艺中的掺杂环节，通过将硼或磷等杂质离子精确注入半导体薄膜，精确调整薄膜的电性能，是制造高端大尺寸OLED显示屏的关键工艺设备。 当前，我国OLED显示产业正处于高速发展的关键阶段，离子注入掺杂设备作为OLED面板实现性能调控的关键设备，目前由日本独家垄断，国内面板厂商无替代选择，核心装备进口问题严重制约产业安全与国际竞争力提升。 2023年，公司与芯嵛半导体达成战略合作，联合攻克多项关键技术，成功开发一台8.5代OLED离子注入机并在韩国测试验证，反馈状况良好。目前，公司正在开发G8.6代离子注入机，开展宽幅大束离子源束形控制、大尺寸基板传输等技术研究，实现低剂量注入均匀性≤2.8%@5×1011ions/cm²、基板传输精度≥2um、产线流片≥5000片等先进指标，预计2027年完成首台国产整机产线验证，打破“卡脖子”技术垄断，为我国OLED产业、安徽省新型显示产业稳定发展筑牢关键根基。

【成果编码】20261248

【单位性质】企业

【企业类别】专精特新“小巨人“企业,专精特新中小企业,创新型中小企业,高新技术企业,科技型中小企业

【统一社会信用代码】91341622MA2RYKDK1H

【是否是首展首发】国内首展

【是否有意愿在安徽落地转化】是

【意愿落地城市】合肥市

【期望参展板块】新兴产业壮大展区/新一代信息技术（含集成电路）

【技术水平】国际先进

【是否有自主知识产权】是

【项目阶段】工程样机/样品

【已应用场景】2025年9月，公司同维信诺达成协议，计划在维信诺V5二期产线中预留1台设备工位，承担首台国产G8.6代离子注入设备的量产级测试验证工作，并提供全套工艺参数支持。

【潜在应用场景】离子注入机作为核心工艺设备，用于LTPS和LTPO背板工艺中的关键掺杂环节，以精准调控器件特性，可同时支持刚性和柔性两种形态的OLED产品生产，对于提升大尺寸OLED面板的显示性能和良率至关重要。该设备的国产化量产可直接服务于合肥国显全球首条搭载ViP技术的第8.6代AMOLED生产线，助力合肥打造全球AMOLED面板的核心供应基地，同时也可服务国产OLED面板厂商，保障新型显示产业国产自主可控。

【服务诉求】应用场景对接

【对接倾向】企业

【展品联系人】王哲

【展品联系人手机号】19339102085

【展示方式】展板

【实物确认】是

【状态】已审核，待遴选

【参展状态】线下+线上参展

【用户回复】是