[00300704]OLED湿法刻蚀机
技术详细介绍
国内首台套:G6 AMOLED产线适用设备，2018年获首级“首台套”认证 核心指标优:刻蚀速率/线宽均一性≥95%、线宽误差≤0.8um、药液浓度控制误差≤0.1% 全自主研发:突破超微颗粒螺旋討流刻蚀等核心技术，打破国外技术壁垒
【期望参展板块】：新兴产业壮大展区/新一代信息技术（含集成电路）
【技术水平】：国内领先
【展示方式】：模型
【成果编码】：1
【单位性质】：企业
【企业类别】：创新型中小企业,专精特新中小企业，高新技术企业
【统一社会信用代码】：91320581571444115X
【展品联系人】：程宇田
【展品联系人手机号】：18715038558
【期望参展板块】：新兴产业壮大展区/新一代信息技术（含集成电路）
【技术水平】：国内领先
【展示方式】：模型
【成果编码】：1
【单位性质】：企业
【企业类别】：创新型中小企业,专精特新中小企业，高新技术企业
【统一社会信用代码】：91320581571444115X
【展品联系人】：程宇田
【展品联系人手机号】：18715038558
