[00301145]原子层薄膜沉积制备系统
技术详细介绍
核心技术关键词：原子层沉积（ALD）、PE-ALD、真空反应腔、模块化设计、纳米级超薄薄膜 团队：团队技术成员是国际上最早开发和销售研究型粉末ALD设备的专家。在美国高端设备（ALD薄膜沉积系统）制造方面已有超过10年的经验以及成熟的产品。公司技术团队包括在ALD领域、薄膜领域、纳米材料，化学工程，物理等领域的资深科学家、高级工程师。 技术特点：模块化柔性设计，采用可扩展模块化架构，可依据科研需求与预算灵活配置、自由组合，支持后期功能升级与模块拓展，适配多样化研发场景。 双腔独立洁净体系，拥有自主知识产权的粉末专用腔体设计，实现粉末样品与晶片样品分区沉积，有效避免交叉污染；标配可替换石英腔体，大幅简化粉末 ALD 工艺处理与维护。 解决问题：
【成果编码】20261918
【单位性质】企业
【企业类别】科技型中小企业
【统一社会信用代码】91340603MA2U1JE128
【是否是首展首发】国内首展
【是否有意愿在安徽落地转化】是
【意愿落地城市】淮北市
【期望参展板块】专题互动展区/“双招双引”
【荣誉与获奖】2025年入选皖北地区及大别山革命老区产业创新团队
【技术水平】国际先进
【是否有自主知识产权】是
【项目阶段】量产推广
【已应用场景】设备以科研专用型为主，目前主要面向高校、科研院所等科研单位，服务于前沿材料研发、薄膜技术攻关、新型功能材料制备等基础与应用研究，满足高水平科研实验与创新研发需求。
【潜在应用场景】设备可面向工业量产与前沿材料研发提供原子层沉积解决方案，未来可广泛应用于： 半导体制造：晶圆钝化层、栅介质层、阻隔层、光刻胶保护层等高精度薄膜制备，满足芯片制程对超薄、均匀、高保形镀膜的严苛要求。 锂电池与新能源材料：锂电池正极 / 负极材料表面包覆镀膜、固态电解质薄膜沉积，提升电池循环寿命、安全性与电化学稳定性。 先进功能材料：粉末 / 颗粒材料功能化改性、纳米涂层制备、光电器件薄膜、传感器敏感层等前沿材料研发与小批量试制。 显示与光电子器件：OLED、Micro-LED 等器件的封装层、传输层、阻隔层沉积，支撑下一代光电子器件研发与产业化。
【服务诉求】应用场景对接
【展品联系人】陈守法
【展品联系人手机号】17805612469
【展示方式】模型
【展品长度】60
【展品宽度】50
【展品高度】50
【展品重量】10
【参展要求】无
【实物确认】是
【状态】已审核，待遴选
【参展状态】线下+线上参展
【用户回复】是
【成果编码】20261918
【单位性质】企业
【企业类别】科技型中小企业
【统一社会信用代码】91340603MA2U1JE128
【是否是首展首发】国内首展
【是否有意愿在安徽落地转化】是
【意愿落地城市】淮北市
【期望参展板块】专题互动展区/“双招双引”
【荣誉与获奖】2025年入选皖北地区及大别山革命老区产业创新团队
【技术水平】国际先进
【是否有自主知识产权】是
【项目阶段】量产推广
【已应用场景】设备以科研专用型为主，目前主要面向高校、科研院所等科研单位，服务于前沿材料研发、薄膜技术攻关、新型功能材料制备等基础与应用研究，满足高水平科研实验与创新研发需求。
【潜在应用场景】设备可面向工业量产与前沿材料研发提供原子层沉积解决方案，未来可广泛应用于： 半导体制造：晶圆钝化层、栅介质层、阻隔层、光刻胶保护层等高精度薄膜制备，满足芯片制程对超薄、均匀、高保形镀膜的严苛要求。 锂电池与新能源材料：锂电池正极 / 负极材料表面包覆镀膜、固态电解质薄膜沉积，提升电池循环寿命、安全性与电化学稳定性。 先进功能材料：粉末 / 颗粒材料功能化改性、纳米涂层制备、光电器件薄膜、传感器敏感层等前沿材料研发与小批量试制。 显示与光电子器件：OLED、Micro-LED 等器件的封装层、传输层、阻隔层沉积，支撑下一代光电子器件研发与产业化。
【服务诉求】应用场景对接
【展品联系人】陈守法
【展品联系人手机号】17805612469
【展示方式】模型
【展品长度】60
【展品宽度】50
【展品高度】50
【展品重量】10
【参展要求】无
【实物确认】是
【状态】已审核，待遴选
【参展状态】线下+线上参展
【用户回复】是
